2月2日,湖南凯美特气体股份有限公司(以下简称凯美特气)发布公告称,公司控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司(以下简称岳阳凯美特)光刻气产品获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证。 根据公告,岳阳凯美特生产于2月2日收到Cymer公司发来的合格供应商认证函,岳阳凯美特生产的光刻气产品通过了Cymer公司审查,Cymer公司已将凯美特电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。 资料显示,ASML子公司Cymer是世界领先的准分子激光源提供商,是深紫外技术的行业领导者,是ASML集团内一家独立运营的企业。 Cymer公司发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源,开发、制造和服务深紫外(DUV)光源。 产品组合包括使用氟化氩(ArF)或氟化氪(KrF)气体产生深紫外光的准分子激光器。 凯美特气表示,公司光刻气产品通过Cymer公司的合格供应商认证,是Cymer公司对公司在光刻气生产领域的生产能力、产品质量的认可,也是公司先进的产品生产技术、钢瓶内壁处理技术、气体分析技术等各方面综合实力、竞争优势的体现。 国产化浪潮下,国内厂商遇良机…… 电子气体是现代工业之基石,被誉为晶圆制造之血液,下游广泛应用于集成电路、面板、医疗、光纤等新兴行业和冶金、化工等传统行业。 电子特气在半导体晶圆制造应用中占比约70%,其次是面板显示市场占比约20%。 除此之外,电子特气还广泛应用于LED、太阳能电池、医疗健康等领域。 在集成电路等高端领域,电子气体被液化空气集团、林德集团、大阳日酸、日本昭和电工等国外气体公司垄断,国内厂商市场份额较小。
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